Вакуумные фунциональные покрытия на детали машин и инструмент
   
фрезы протяжки вырубной инструмент сверла пластины долбяки резьбонарезной инструмент
 

 
осаждение покрытий из газовой фазы

Методы CVD и PECVD покрытий

 

Общая характеристика

 

Основу методов составляют процессы (CVD, PECVD) формирования покрытий при пиролизе (водородном восстановлении) газообразных химических соединений из паровой фазы различных элементов в условиях атомно-ионного модифицирования поверхности и возбуждения неравновесной низкотемпературной плазмы с температурой активных частиц, достигающей миллионов градусов.

Формирование покрытий CVD методом происходит за счет протекания на нагретой поверхности изделий гетерогенных процессов разложения (водородного восстановления) металлсодержащих химических соединений (карбонилы металлов Fe, Mo, Cr, W, металлорганическая жидкость "Бархос", иодидные или хлоридные соединения) находящихся в реакционном объеме в газообразном состоянии.

Благодаря высокой подвижности и интенсивности процессов массопереноса, присущих газообразным средам, метод CVD покрытий обладает исключительной "кроющей" способностью. Возможность обеспечивать высокие массовые потоки металлсодержащего соединения в газообразном состоянии к покрываемой поверхности позволяет реализовать высокую производительность процессов нанесения покрытия, в которых скорость роста может достигать от нескольких сотен микрон в час до нескольких миллиметров в час.

Высокая поверхностная подвижность адсорбированных металлсодержащих соединений позволяет в CVD процессах получать покрытия с плотностью, близкой к теоретической, при температурах ~ 0,15-0,3 от температуры плавления материала, что недоступно для других методов нанесения покрытий, а также формировать совершенные эпитаксиальные покрытия.

Относительная простота очистки от большинства примесных элементов на стадии получения металлсодержащих соединений благодаря избирательности процессов химического взаимодействия исходных продуктов на нагретой поверхности, дополнительная дистилляция в процессе его перевода в газообразное состояние из твердого или жидкого состояния, в котором эти соединения обычно находятся при нормальных условиях, обусловливают высокую степень чистоты получаемых CVD методом покрытий.


Мощным инструментом воздействия как на кинетику CVD процессов нанесения покрытий, так и свойства покрытий является плазменная поддержка (PECVD). Применение различных приемов возбуждения плазмы в реакционном объеме и управление ее параметрами позволяет интенсифицировать процессы роста покрытий, сдвигать их в область более низких температур, делает более управляемыми процессы формирования заданного микрорельефа и структуры покрытия, примесного состава и других характеристик покрытия.


Таким образом, среди известных методов нанесения покрытий высокого качества методы CVD и PECVD находятся вне конкуренции в большинстве случаев, когда необходимо:

Использование газофазных и плазмохимических методов в комплексе с другими методами нанесения покрытий и модифицирования поверхности (методов ионного легирования, имплантации, вакуум-плазменными, диффузионными, вакуум-термическими методами и др.) в еще большей мере расширяет возможности создания принципиально новых материалов и покрытий.

 

Наиболее эффективно применение PEPVD и PECVD методов для:

Достоинства методов :

Использование в комплексе плазмохимических и ионно-плазменных методов нанесения покрытий, ионного легирования, имплантации, модифицирования поверхности в сочетании с другими методами (диффузионными, электронно-лучевыми, вакуум-термическими) в еще большей мере расширяет возможности создания принципиально новых материалов и покрытий.

Направления работ :

 

Разработка базовых технологических процессов и конкретных технологий, основанных на модифицировании поверхности при имплантации ионов, нанесении покрытий при осаждении из газовой фазы (CVD-процессы), ионно-плазменных и плазмохимических процессах (PECVD-процессы) для применения в:

 

Rambler's Top100 бесплатный счетчик
бесплатный счетчик Untitled Document

Информация •Применение покрытий по отраслям Для инструментадля защиты от коррозииДетали двигателей и топливной аппаратурыСвойства покрытийФотографии покрытий


©2000-2012 НТЦ Нанотехнология • Главная страницаИнструменты с покрытиями

Инструмент с покрытием:фрезыпротяжкивырубной инструментсверлапластинырезцыдолбяки резьбонарезной инструмент

ВЫсокотемпературная технологическая оснастка:стекловаренная,W-RE, Тепловые трубы

медицинское и фармацевтическое оборудование с покрытиями

Детали двигателей внутреннего сгорания с покрытиями

Детали турбин с покрытием

Применение покрытий в авиастроении

 


free counters
Free counters