Вакуумные фунциональные покрытия на детали машин и инструмент
   
фрезы протяжки вырубной инструмент сверла пластины долбяки резьбонарезной инструмент
 

 
магнетронное распыление

 

Магнетронный метод нанесения покрытий

Общая характеристика

Действие магнетронного источника основано на распылении материала мишени-катода при его бомбардировке ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда, возбуждаемого в скрещенных электрическом и магнитном полях. Магнетронная распылительная система (МРС) является одной из разновидностей схем диодного распыления.
К основным рабочим характеристикам МРС относятся напряжение и сила тока разряда, удельная мощность на катоде, давление рабочего газа и магнитная индукция. В качестве рабочего газа в МРС обычно используют аргон. Давление рабочего газа поддерживается в диапазоне 10-2-1,0 Па, напряжение разряда - 300-800 В. Магнитная индукция вблизи поверхности катода имеет значения 0,03-0,1 Тл. При таких условиях плотность тока на мишень находится на уровне нескольких тысяч ампер на м2, а поверхностная плотность энергии * 106 Вт/м2.
Магнетронные распылительные системы на постоянном токе могут работать только с мишенями из проводящих материалов. Если используются высокочастотные источники питания, то возможно распыление также и мишеней из непроводящих материалов (ВЧ-магнетроны).


Типы функциональных покрытий

 


сборочный чертеж магнетрона

Сборочный чертеж магнетрона

Магнетронный метод позволяет:


Rambler's Top100 бесплатный счетчик
бесплатный счетчик Untitled Document

Информация •Применение покрытий по отраслям Для инструментадля защиты от коррозииДетали двигателей и топливной аппаратурыСвойства покрытийФотографии покрытий


©2000-2012 НТЦ Нанотехнология • Главная страницаИнструменты с покрытиями

Инструмент с покрытием:фрезыпротяжкивырубной инструментсверлапластинырезцыдолбяки резьбонарезной инструмент

ВЫсокотемпературная технологическая оснастка:стекловаренная,W-RE, Тепловые трубы

медицинское и фармацевтическое оборудование с покрытиями

Детали двигателей внутреннего сгорания с покрытиями

Детали турбин с покрытием

Применение покрытий в авиастроении

 


free counters
Free counters