|
Украина, 61108, Харьков, а/я 9410 тел: +38 057 755 0607,
тел: +38 050 302 7955 e-mail: iht@kharkov.ua, www.nano.org.ua |
Директор д.т.н., профессор, академик Академии технологических наук Украины |
Методы
Комбинированные методы "Hi-Tech"
Методы
осаждения из газовой фазы (CVD и PECVD)
Метод вакуум-дугового
нанесения покрытий
Магнетронный метод нанесения покрытий
|
Методы |
Технологические возможности |
Оборудование |
|
|
|
|
|
√ |
√ |
|
|
√ |
√ |
|
|
√ |
√ |
|
|
Электронно-лучевой |
√ |
√ |
|
|
|
|
|
Диффузионное насыщение (силицирование, борирование и др.) |
√ |
√ |
|
Ионное насыщение (азотирование, цементация и др.) |
√ |
√ |
|
|
|
|
|
Имплантация |
√ |
√ |
|
|
|
|
|
Ионное травление |
√ |
√ |
|
Ионная очистка |
√ |
√ |
|
Ионная полировка |
√ |
√ |
