Техническая оснащенность НТЦ "Нанотехнология"

 

Украина, 61108, Харьков, а/я 9410

тел: +38 057 755 0607,

 

тел: +38 050 302 7955

e-mail: iht@kharkov.ua,   www.nano.org.ua

 

Директор Сагалович Владислав Викторович

д.т.н., профессор,

академик Академии технологических наук Украины

Available deposition Methods

 

*            combination deposition methods "Hi-Tech"

*            Chemical vapour deposition methods (CVD and PECVD)

*            Vacuum arc coatings deposition

*           Filtered vacuum arc coatings deposition (FAD)

*         Magnetron sputtering

 

 

 

Deposition methods

Technological abilities

Equipment

 

 

 

CVD,  PECVD

Vacuum arc including FAD (filtered arc deposition)

Magnetron sputtering (RF &DC)

Ion beam and Plasma assisted

 

 

 

Диффузионное насыщение (siliconizing, boronizing and etc .)

 

 

Ionic saturation (ionic nitrcding, carburazing, oxidazing)

 

 

 

 

 

Implantation

 

 

 

Ion etching

Ion cleaning

Ion polishing

 

 

 

Rambler's Top100 бесплатный счетчик
бесплатный счетчик